E-P100产品是一款高精度、高可靠的经济型气 体 质 量 流 量 控 制 器 产 品 。该 产 品 采 用 最 新 一 代的 工 业 级 气 体 流 量 检 测 芯 片 、电 磁 比 例 阀 、316L不锈钢气路底座，结合高速数字处理电路以及 温 度 补 偿 算 法 ，可 实 现 最 小 0 . 2 s c c m 、最 大2 0 s l m 流 量 范 围 内 的 气 体 流量控制，该 产 品 可以用于配气仪、分析仪、真空镀膜、焊接等应用 场景。

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