简介

高性能MFC，为半导体行业量身打造

S300系列数字质量流量控制器/流量计：采用公司自主研发的工业级*流量传感器，结合精细抛光气路结构以及高精度数字控制电路和算法，实现高精度、低零漂、高重复性控制。该产品配备现场显示屏和地址编码开关，多种通讯方式可选、可定制全金属密封， 适配半导体、真空镀膜、光伏及其它各类应用环境 。

主要优势

S1 物理功能模块丰富

顶部配置有丰富的功能模块：

* RJ45数字通信接口(可定制

 EtherCAT或RS485协议)

* 地址编码开关

* 现场显示屏

* 状态指示灯

此外，侧面配置有M8航空供电接口，显示直观、操作简单，方便用户进行现场流量监测和控制。

S2 快速响应

1.5ms传感器响应时间，0.1~0.5s仪表系统响应时间，及时捕捉微小流量变化。

S3 高精度

2.0%-100%F.S.全量程段保持高精度：

0.3%F.S.(≤30%F.S.)；1.0%S.P.(＞30%F.S.)

S4 配备专用上位机

配备功能强大的SmartFlow上位机软件，支持多台联动，方便进行监测和设备配置。

S5 认证产品

通过TüV国际机构CE&EMC认证，或计量院一级校准证书等，符合多项SEMI标准。

*  除非另有说明，本产品标定于以下条件：氮气、温度25℃、2.5bar差压(进气口3.5bar绝压对出气口1bar

  绝压)、水平放置安装。

*  建议在入口端安装尺寸合适的直管段，否则可能会引起精度产生偏差。

*  建议在入口端和出口端匹配尽可能大的接头，以避免导致额外的压损。

1  所示量程为氮气可选量程。

2  %F.S.指误差占满量程的百分比。

3  %S.P.指误差占设定值的百分比。

4  响应时间指达到设定值±2%以内所需要的时间。

5  工作压力指进气口与出气口(1bar绝压)之间的差压，更多细节请联系我们。

尺寸及通信